一种新的方法可以帮助研究人员制作微小的3D结构。图中是两个包装好的微芯片,每个芯片的表面都有微型桥。
来源:麻省理工学院
微机电系统(MEMS)是一种具有巨大潜力的小型设备。它们通常由小于100微米(相当于一根头发的直径)的部件组成,被用作微型生物传感器、加速计、陀螺仪和执行器。
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